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實(shí)現(xiàn)了小型機(jī)體的格里諾（Greenough）光學(xué)系統(tǒng)
搭載了獨(dú)有的格里諾（Greenough）光學(xué)系統(tǒng)，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了大范圍的變焦比和清晰的觀察影像。靈活運(yùn)用了格里諾光學(xué)系統(tǒng)的特性，機(jī)體線條流暢而小巧。能在生產(chǎn)流水線發(fā)揮威力的同時(shí)，也適合與設(shè)備組裝使用。
V字形光路使物鏡的**形狀能設(shè)計(jì)成細(xì)長(zhǎng)形，也適合與設(shè)備組裝使用。工作性能優(yōu)越的小型機(jī)體誕生了。
實(shí)現(xiàn)了高度平直度和較深的焦點(diǎn)深度
實(shí)現(xiàn)了忠實(shí)于樣品的觀察影像
對(duì)應(yīng)ESD，防止器件受到靜電影響
體視顯微鏡 SZ61/51 規(guī)格
光學(xué)系統(tǒng)
格利諾光學(xué)系統(tǒng)
總放大［率］
2.0x～270x[SZ61]※1
變倍體
變焦比
6.7（0.67x～4.5x）[SZ61]
AS
-
觀察筒
雙目（觀察筒傾斜角45°/60°）/三目觀察筒（0.5x內(nèi)置拍攝用透鏡）[SZ61]
對(duì)焦單元
支架臺(tái)
物鏡
倍率
倍率
N.A.
W.D. (mm)
觀察倍率※2
觀察范圍（mm）※2
0.3x
輔助物鏡
（可變式）
0.02～0.024
350～250
2x～13.5x
φ109.5～φ16.3
0.4x
輔助物鏡
（可變式）
0.027～0.032
250～180
2.7x～18x
φ82.1～φ12.2
0.5x
輔助物鏡
0.036
200
3.4x～22.5x
φ65.7～φ9.8
0.62x
輔助物鏡
0.042
160
4.2x～27.9x
φ53～φ7.9
0.75x
輔助物鏡
0.053
130
5x～33.8x
φ43.8～φ6.5
1x
-
0.071
110
6.7x～45x
φ32.8～φ4.9
1.5x
輔助物鏡
0.1
61
10.1x～67.5x
φ21.9～φ3.3
2x
輔助物鏡
0.142
38
13.4x～90x
φ16.4～φ2.4
外形尺寸
194（W）×253（D）×368（H）mm
重量
3.5 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合）
備注
※1 物鏡與目鏡組合時(shí)的倍率范圍
內(nèi)向角的格里諾光學(xué)設(shè)計(jì)，使高度平直度和較深的焦點(diǎn)深度能同時(shí)實(shí)現(xiàn)。能從前面到內(nèi)部正確對(duì)焦凹凸很大的樣品，得到充滿立體感的觀察圖像。
自然的色彩再現(xiàn)功能，能夠觀察到樣品原來(lái)的顏色。影像平面彎曲的抑制，能更為逼真的觀察到樣品的形狀。此外，變焦比為6.7（0.67倍～4.5倍）［SZ61］,5（0.8倍～4倍）［SZ51］，性能**。
機(jī)體和主要附件涂以防靜電材料，能夠快速去除靜電。這樣就能夠防止靜電破壞樣品。
2.4x～240x[SZ51]※1
5（0.8x～4x）[SZ51]
雙目觀察筒（鏡筒傾斜角45°/60°）[SZ51]
[SZ61]
2.4x～12x
[SZ51]
[SZ61]
φ91.7～φ18.3
[SZ51]
[SZ61]
3.2x～16x
[SZ51]
[SZ61]
φ68.8～φ13.8
[SZ51]
[SZ61]
4x～20x
[SZ51]
[SZ61]
φ55～φ11
[SZ51]
[SZ61]
5x～24.8x
[SZ51]
[SZ61]
φ44.4～φ8.9
[SZ51]
[SZ61]
6x～30x
[SZ51]
[SZ61]
φ36.7～φ7.3
[SZ51]
[SZ61]
8x～40x
[SZ51]
[SZ61]
φ27.5～φ5.5
[SZ51]
[SZ61]
12x～60x
[SZ51]
[SZ61]
φ18.3～φ3.7
[SZ51]
[SZ61]
16x～80x
[SZ51]
[SZ61]
φ13.8～φ2.8
[SZ51]
※2 使用目鏡10x時(shí)